| 구성 및 성능 |
1. 구성
가. 광학 장치
나. 자동 시료 도입 장치
다. 자동 무선 주파수 발생 장치
라. 검출 장치
마. 전용 소프트웨어 및 전용 컴퓨터, 컬러 레이저 프린터
바. 시료 자동 주입 장치
사. 냉각수 공급 장치
아. 장비 설치 및 가동을 위한 기본 소모품
2. 성능
가. 광학 장치
1) 가로(Axial), 세로(Radial) 측정이 가능한 동시 수평-수직 듀얼 뷰 광학계
2) 측정 모드 : 동시 분석 적용
3) 플라즈마 꼬리 제거 : 콘을 이용한 겉불꽃 제거(CCI) 방식
4) 다색화 장치
가) 파장 범위 : 167 - 785 nm
나) 분리능 : 200nm 에서 0.0065nm , 327.4nm에서 0.013nm
다) 초점거리 : 253mm
5) 플라즈마 관측 : 수직 방향의 듀얼뷰 방식(수평, 수직, 듀얼 뷰 지원)
6) 반사 격자 구조 : 113.3 lines/mm의 에첼레 회절판과 30도 CaF2 재질의 프리즘
나. 시료 도입 장치
1) 구조 : 자동 토치 정렬 및 최적화
2) 토치 : 석영관과 폴리머 일체형 구조. 도입과 동시에 분석되는 수직형 토치
3) 분무방/분무기 : 고효율의 더블 패스 싸이클로닉 분무방
4) Ch5 페리스탈틱 펌프 : 0~80rpm 속도 조절이 가능하며, 빠른 시료 도입 및 멀티샘플도입시스템(MSIS) 장치 작동을 지원하는 전자동 펌프 시스템
다. 무선주파 발생 장치
1) 27MHz 수냉식
2) 전력 범위 : 750 –1500W(10W 간격으로 조절 가능, 결합효율 75% 이상)
라. 검출 장치
1) 이미지맵 기술의 전하 결합형 CCD 검출기
2) 블루밍 방지 장치 : 과신호 발생하여도 미량 범위 동시 분석 가능
3) 각 픽셀 칠만픽셀구성. 총 판독 시간 0.8초
4) 바탕보정 통합 기술(AIT)
5) 검출 속도 : 빠른 검출을 위해 픽셀당 1MHz 이상
6) 가스 퍼지 불필요
마. 전용 소프트웨어
1) 가스, 플라즈마 위치, 플라즈마 발화, RF-파워, 안전장치 및 기타 기기 상태를 컴퓨터를 통한 제어 가능
2) 바탕보정을 통한 결과 도출
3) 모든 양식은 국제 규격(US EPA)에 부합되는 형식으로 제공.
4) 스펙트럼 간섭에 대해 자동 곡선보정 기술 적용 및 요소간 보정 기술(IEC) 기술 적용
5) 사용자 인터페이스 : US-EPA과 국제 규격 적용
6) 분무 장치에 가해지는 알곤 가스의 압력 및 샘플 당 알곤 방사도 모니터링
7) 결과 데이터 Excel문서 변환 기능
8) 산소 및 질소 퍼징 컨트롤 기능
바. 시료 자동 주입 장치(오토 샘플러)
1) 속도(대각의 코너에서 코너까지)<3s
2) 자동 세척(린스 솔루션) 기능 최대 50 ml/min까지 지원
3) 분석가능한 시료 수/최대 999개까지 지원
4) 최대 시료 랙과 시료 수 : 4랙 & 360개
사. 냉각수 공급 장치
1) 55-300kPa에서 유량 1L/min 이상의 냉각수 공급
2) 25℃ 이하의 냉각수가 공급
아. 기타
1) 분석 준비시간 : 플라즈마 점화 후 20분 이내
2) 산란광 제거 : 10,000ppm의 칼슘 속에서 1ppm 미만의 비소의 파장을 검출 가능
3) 분해능
비소 < 6.5pm at 188.980nm, 몰리브데늄 < 7pm at 202.032nm
아연 < 7.5pm at 213.857nm, 납 < 7.5pm at 220.353nm
크롬 < 9.5pm at 267.716nm, 구리 < 13pm at 327.396nm
바륨 < 32pm at 614.172nm |