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※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

전자현미경 FE-SEM

표준분류: 주사전자현미경
보유기관명: 성균관대학교
시설장비아이디: 20110121000000098459
시설장비등록번호: NFEC-2011-01-135487
이용방법: 분석·시험 의뢰
활용범위: 공동활용서비스가능
활용대상: 기관외부활용
장비문의처: 031-299-4740

장비정보


제작사명 / 모델명	Jeol / JSM-7600F
설치장소	- - (층: 1 / 호실: 26105)
사용용도	시험
장비설명	특징 FE-SEM 이란 10-3 Pa이상의 진공중에 놓여진 시료표면을 1-100 nm정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자 반사전자 투과전자 가시광 적외선 X선 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여시료의 형태 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포 정성 정량등의 분석을 행하는 장치이다. 금속등의 도체 IC 산화물등의 반도체 고분자 재료나 세라믹등의 절연물의 고체 분말 박막시료가 될수 있다. JSM-7600F 주사 전자 현미경은 고분해능 이미징과 최적화된 분석기능을 성공적으로 결합한 분석장비이다. 또한 큰 표본 챔버를 가지고 있으며 200 mm 직경의 표본을 수용할 수 있는 이 독특한 챔버는 이차전자 후방산란전자 EDS WDS EBSD CL 등의 여러가지 감지기에 최적화 되어있다.
구성 및 성능	구성및성능 빔 경통 조리개 각도제어 렌즈 탐지기 에너지 필터 젠틀 빔 후방산란 전자 감지기 표본 교환챔버 5축 모터 드라이브 (xytiltrotationworking distance) 진공시스템 칠러 자동 전압 제어장치 분석제어 패널 컴퓨터
사용 예시	활용분야 전자선은 전자총부의 원통내의 음극(Filament)를 가열하여 발생한 전자가 양극으로 가속 되어진다. 통상 0.5~30kV로 가속되어진 전자선은 집속렌즈와 대물렌즈의 전자 렌즈의 작용으로 최종적으로 3~100nm의 직경까지 미세해지며 시료표면에 조사 된다. 이렇게 미세해진 전자선을 전자 probe라고 부른다. 전자probe는 주사 코일에 의해 전자표면상의 X와 Y의 2차원 방향으로(통상의 Television) 새롭게 설정된 면적을 주사 시킨다. 전자 probe의 주사와 동기된 브라운관 화면상에 시료로부터 발생한 신호를 각각의 신호로 변환시킨 검출기에서 검출 증폭하여 영상으로 보여준다 브라운관화상은 전자 probe의 주사면적을 작게 할수록 확대 되어진다.